20世纪90年代,计算机的存储容量还不到1GB,甚至无法存储一部高清电影。随着技术的不断升级,现如今一部智能手机的存储容量就已经达到1TB,是1GB的1000倍。如此多的数据是如何进入只有指甲盖大小的半导体当中的呢?这一切都归功于实现半导体进一步集成的纳米级半导体电路技术。“集成”指堆叠物体,而“集成度”则指半导体芯片中有多少个逻辑元件(执行逻辑计算的最小级别电路)。为了提高小芯片内部的集成度,目前电路的线宽已经达到几十纳米。随着半导体电路越来越精细,我们可以在相同的表面积上生产出更高容量、更高性能、更高效率的产品。本文将带大家一起了解经常出现在解释超精细工艺中的“纳米”概念。
纳米,半导体的精细加工单元