进入正文

半导体晶圆厂术语表.ZIP

  • 邮件
“半导体晶圆厂（Fab）”是半导体制造的摇篮。“Fab”是“fabrication”的缩写，意为生产，指代半导体行业中的半导体生产设施。本文汇编了半导体晶圆厂相关关键术语，让我们一起来了解一下吧！ 洁净室，不允许出现一丝灰尘的地方。
Clean room, a place where the tiniest speck of dust is not allowed
Clean room, a place where the tiniest speck of dust is not allowed
半导体生产线的内部称为洁净室。即便是极小的灰尘或颗粒物进入半导体生产过程，也会影响半导体的质量。这就是与其他外部环境相比，洁净室必须保持极高水平清洁度的原因。 “等级”划分空间洁净度标准。等级表示在1立方英尺内大于等于0.5微米的颗粒物数量。例如，如果洁净室的等级为1000，则意味着该空间内最多有1000个直径大于等于0.5微米的颗粒物。三星半导体洁净室内部设有高性能过滤器，可以过滤天花板和地板格子型孔中的灰尘。通过自上而下的循环结构保持清洁的环境。
Essential outfit in a clean room, dust-free wear
Essential outfit in a clean room, dust-free wear
进入根据生产环境优化的生产线前，所有工作人员必需穿上特制无尘服。这些无尘服的设计可以防止灰尘等细颗粒物逃逸，甚至可以防止可能影响半导体集成电路的静电。 有助于高效移动晶圆的封装盒的“FOUP”和运输车“OHT” 半导体历经3周或更长的时间，完成以8个主要工艺为代表的数百个步骤后完成生产。这些过程中，FOUP（前开式晶圆传送盒）和OHT（空中走行式无人搬送车）帮助晶圆有效地移动到晶圆厂内的各种设施。
Package box “FOUP” and transport vehicle “OHT” that help move wafers efficiently
Package box “FOUP” and transport vehicle “OHT” that help move wafers efficiently
FOUP是一种用于存储或安全移动晶圆的容器，可以看做是一个专门用于传送晶圆的盒子。OHT是一种运输工具，可以将这个盒子移动到任何需要的地方。OHU作为晶圆厂最吸睛的设备之一，沿着晶圆厂天花板上的轨道快速、自动地将装有晶圆的FOUP移动到必要的设备上。OHT系统类似于自动驾驶系统，配备了传感器，可以检测障碍物，防止移动时发生碰撞。同时，可以自动检测危险并减速安全行驶，大幅提高半导体生产线的效率。由于我们很难亲自进入并体验半导体生产车间，所以对半导体感兴趣的你们肯定会对这里十分好奇。希望本期内容能够满足您的好奇心！
Related contents
相关内容