“全环绕栅极”晶体管:下一代半导体的全新技术节点。从人工智能到5G、物联网,再到自动驾驶汽车,半导体不知不觉间已经成为第四次工业革命时代的核心技术之一。随着半导体技术变得更加精密和复杂,相关技术也在快速发展。特别是,随着下一代设备尺寸越来越小且集成度越来越高,超微工艺技术的重要性变得愈发重要。下一代晶体管作为构成半导体的主要元件,尺寸和功耗都有所降低,而性能仍在不断提高。
改变晶体管结构,突破半导体尺寸限制
晶体管是构成半导体的主要元件,具有调节和放大电流与开关的作用。晶体管中最重要的部分就是栅极。其工作原理是通过对栅极施加电压使电流流动,移除电压时,电流停止流动。超高密度集成电路的每个半导体芯片中都封装了数以亿计的晶体管,因此需要超高精度工艺。与此同时,晶体管尺寸变得越来越精巧,这反过来又产生了对这些微小的晶体管进行精确控制的需求。
下一代全环绕栅极(GAA)晶体管结构