于本月开工建设的新晶圆代工生产线将专注于基于 EUV 的 5 纳米 (nm) 及以下工艺技术,预计将在 2021 年下半年全面投产。这将发挥至关重要的作用,为三星拓展先进工艺技术在当前和下一代应用中的使用,包括 5G、高性能计算 (HPC) 和人工智能 (AI)。
三星电子总裁兼晶圆代工事业部负责人 ES Jung 博士表示:“这一新的生产设施将扩大三星在 5 纳米以下工艺上的生产能力,让我们能够快速响应市场对 EUV 解决方案不断增加的需求。我们继续承诺通过积极投资和招募人才来满足客户的需求。这将有利于我们持续拓展新领地,同时促进三星晶圆代工业务的稳健增长。”
继在 2019 年初基于 EUV 技术的 7 纳米工艺首次量产后,三星最近在韩国华城新建了一条 EUV 专用 V1 生产线,使其全球晶圆代工网络再添新军。新建的平泽设施从 2021 年全面投产后,三星基于 EUV 技术的晶圆代工产能预计将显著提升。
三星计划今年下半年在华城晶圆厂开始 5 纳米 EUV 工艺量产。